測(cè)試參數(shù)

Ra, Rz, RS, RSm, Rp, Rv, Rq, Rt, Rmax, D, Rmr等

粗糙度測(cè)量范圍

Ra 0.01 - 10 μm

取樣長(zhǎng)度

L: 0.08 ,0.25, 0.8, 2.5 mm

測(cè)量長(zhǎng)度

Ln: 1L, 2L, 3L, 4L, 5L可任選 Selectable

評(píng)定長(zhǎng)度

0.08, 0.25, 0.8, 2.5mm

分辨率

0.001 μm

示值誤差

± 5 %

測(cè)量工件最大高度

300mm

觸針

標(biāo)準(zhǔn)型 高度<8mm 小孔型

觸針半徑

2um,測(cè)力: 4 mN

移動(dòng)速度

0.5 mm/sec

線性區(qū)

垂向Vertical 600 um

軸向測(cè)量范圍

40 mm

濾波器

高斯濾波器，ISO 2CR濾波器

小孔測(cè)量范圍

≥ф5 mm

可調(diào)工作臺(tái)

旋轉(zhuǎn)角度：±10度

擺動(dòng)范圍：±10度

X-Y移動(dòng)范圍： 15 mm

軸承內(nèi)外圈尺寸

內(nèi)圈最大外徑：280mm

外圈最小孔徑： 12mm

厚度：≤160 mm